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扩散硅压力传感器
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扩散硅压力传感器

STB11系列是基于MEMS(微机电系统)技术的硅压阻式传感器,是一款高稳定性、高精度的OEM压力测量芯体。该系列产品采用国际知名厂商的压力芯片封装而成,外界压力通过316L不锈钢膜片及内部灌充硅油传递到敏感元件上,能够用于测量所有与316L不锈钢兼容的压力介质。每个传感器在出厂前都进行了严格的零点和满度温度补偿,保证了在复杂环境下的测量精度。产品特点:高稳定性高精度适用于中小压力(0-40kPa…7MPa)宽温度补偿范围可以测量腐蚀性介质(与316L兼容)标准化封装尺寸典型输出:0-100mV

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  • 产品详情
  • 参数

    最小值

    典型值

    最大值

    精度(%FS)




          非线性1

    40kPa


    ±0.20

    ±0.30

    >40kPa


    ±0.10

    ±0.20

          迟滞2


    ±0.05

    ±0.10

          重复性3


    ±0.05

    ±0.10

    输出(mV)




    零点输出

    40kPa

    -1.5

    ±0.7

    1.5

    100kPa

    -1

    ±0.5

    1

    满量程输出(FS)

    70



    温度特性




          工作温度(℃)

    -40


    125

          补偿温度(℃)

    40kPa

    0


    50

    100kPa

    -10


    70

          零点温度误差(%FS)4


    ±0.75

    ±1.0

          满量程温度误差(%FS)4


    ±0.75

    ±1.0

          温度迟滞(%FS)5 


    0.1


    长期稳定性(±%FS/年)




          零点


    0.1


          满量程


    0.1


    供电电流(mA)

    0.5

    1.5

    2

    输入阻抗(kΩ)

    2.0

    2.5

    3.0

    输出阻抗(kΩ)

    2.5

    3.0

    3.7

    输出负载电阻(MΩ)6

    5



    绝缘电阻(MΩ/100V)7

    100



    压力量程

    0-40kPa……7MPa(详见选型表)

    压力过载

    4MPa

    2

    7MPa

    1.5

    压力介质

    与316L不锈钢兼容的液体、气体和蒸汽


    参数

    最小值

    典型值

    最大值

    精度(%FS)




          非线性1

    40kPa


    ±0.20

    ±0.30

    >40kPa


    ±0.10

    ±0.20

          迟滞2


    ±0.05

    ±0.10

          重复性3


    ±0.05

    ±0.10

    输出(mV)




    零点输出

    40kPa

    -1.5

    ±0.7

    1.5

    100kPa

    -1

    ±0.5

    1

    满量程输出(FS)

    70



    温度特性




          工作温度(℃)

    -40


    125

          补偿温度(℃)

    40kPa

    0


    50

    100kPa

    -10


    70

          零点温度误差(%FS)4


    ±0.75

    ±1.0

          满量程温度误差(%FS)4


    ±0.75

    ±1.0

          温度迟滞(%FS)5 


    0.1


    长期稳定性(±%FS/年)




          零点


    0.1


          满量程


    0.1


    供电电流(mA)

    0.5

    1.5

    2

    输入阻抗(kΩ)

    2.0

    2.5

    3.0

    输出阻抗(kΩ)

    2.5

    3.0

    3.7

    输出负载电阻(MΩ)6

    5



    绝缘电阻(MΩ/100V)7

    100



    压力量程

    0-40kPa……7MPa(详见选型表)

    压力过载

    4MPa

    2

    7MPa

    1.5

    压力介质

    与316L不锈钢兼容的液体、气体和蒸汽


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